掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)，信號收集及顯示系統(tǒng)，真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。掃描電子顯微鏡可用多種物理信號對樣品進行綜合分析，并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數(shù)范圍寬和景深大等特點，當(dāng)陶瓷材料處于不同的外部條件和化學(xué)環(huán)境時，掃描電子顯微鏡在其微觀結(jié)構(gòu)分析研究方面同樣顯示出極大的優(yōu)勢。

　　光學(xué)顯微鏡價格便宜，操作簡單，但由于可見光波長的限制，其放大倍數(shù)只能達到1000倍左右；傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數(shù)可以達到數(shù)萬倍，具有大景深，是當(dāng)前材料科學(xué)、生物科學(xué)領(lǐng)域zui常用的表征手段之一，但其投資巨大，而且需要經(jīng)過嚴格培訓(xùn)的操作人員，使用不便。為了解決這一矛盾，美國FEI公司在2004年提出了臺式掃描電鏡的概念。不同于傳統(tǒng)大型掃描電鏡，臺式掃描電鏡是一種全新的設(shè)計，其結(jié)合了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電鏡的優(yōu)點。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數(shù)和大景深，同時體積小、操作簡便，價格僅為傳統(tǒng)電鏡的幾分之一，逼近光學(xué)顯微鏡的價格。

　　掃描電鏡的電磁透鏡其作用是提供入射電子束在樣品表面上以及陰極射線管內(nèi)電子束在熒光屏上的同步掃描信號。改變?nèi)肷潆娮邮跇悠繁砻鎾呙枵穹垣@得所需放大倍率的掃描像。掃描線圈試掃描點晶的一個重要組件，它一般放在zui后二透鏡之間，也有的放在末級透鏡的空間內(nèi)。