臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)同時(shí)具備樣品表面微觀形貌觀測(cè)和表面元素成分點(diǎn)、線、面分析。可以將電鏡和能譜在生產(chǎn)環(huán)節(jié)集成在一臺(tái)設(shè)備中，后期通過一個(gè)軟件平臺(tái)控制操作，用戶只需要熟悉一個(gè)軟件就能同時(shí)操控兩項(xiàng)功能，也變得相對(duì)簡(jiǎn)單快速。

 

　　臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)能進(jìn)行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是：各種元素具有自己的X射線特征波長(zhǎng)，特征波長(zhǎng)的大小則取決于能級(jí)躍遷過程中釋放出的特征能量E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來進(jìn)行成分分析的。

 

　　能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過程，樣品的導(dǎo)電性，元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（數(shù)據(jù)庫及標(biāo)準(zhǔn)），我們無法消除，也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差（操作方法），這些因素都會(huì)導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。

 

　　多層壓電陶瓷由數(shù)層壓電材料組成，與內(nèi)部電極交錯(cuò)排列。內(nèi)部電極相繼定位為正極和負(fù)極，所有正電極都連接到組件一側(cè)的一個(gè)外部電極。負(fù)極連接在組件的另一側(cè)。

 

　　與單層壓電陶瓷相比，多層壓電陶瓷的很大優(yōu)勢(shì)在于，在實(shí)現(xiàn)與單層壓電陶瓷相同的位移時(shí)，可以減少施加的電壓。單層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù)d33乘以電壓，多層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù)d33乘以電壓乘以層數(shù)。

 

　　多層壓電陶瓷器件品質(zhì)要求較高，其內(nèi)部多層結(jié)構(gòu)需要使用掃描電鏡（SEM）觀察，例如每一層陶瓷是否有缺陷，多層陶瓷的厚度是否均勻，作為電極的銀層是否覆蓋均勻，這些結(jié)構(gòu)影響著器件的使用壽命。