掃描電鏡（SEM）是一種用途廣泛的科學(xué)儀器，它可以根據(jù)用戶的需求提供樣品不同類型的信息。在這里我們將闡述在掃描電鏡（SEM）中產(chǎn)生的不同類型的電子，它們是如何被檢測(cè)出來(lái)的，以及它們可以提供的信息等。

電子顯微鏡是通過(guò)電子束來(lái)成像的。在圖1中，您可以看到電子與物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的各種信號(hào)，所有這些不同類型的信號(hào)攜帶著關(guān)于樣品的不同的有用信息，由電子顯微鏡的操作人員根據(jù)需要選擇接收的信號(hào)。

例如在透射電鏡（TEM）中，正如它的名字所示，檢測(cè)到的信號(hào)是透過(guò)樣品的電子，會(huì)提供樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的信息。在掃描電鏡（SEM）下，通常需要檢測(cè)兩種類型的信號(hào)：背散射電子（BSE）和二次電子（SE）。

圖1：電子與物質(zhì)相互作用區(qū)域，產(chǎn)生不同類型的信號(hào)