在掃描電鏡應(yīng)用中，低真空技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)非導(dǎo)電樣品的直接觀察，無(wú)需噴鍍貴金屬，以免造成樣品表面細(xì)節(jié)被掩蓋、尺寸發(fā)生改變，成分信息減弱或消失等情況。

低真空技術(shù)是利用入射電子束電離樣品倉(cāng)內(nèi)空氣分子產(chǎn)生正離子和自由電子（如圖1 所示），正離子在樣品表面荷電所形成的負(fù)電場(chǎng)的吸引下與負(fù)電荷產(chǎn)生中和，從而消除樣品表面荷電。

由于樣品表面荷電是因?yàn)槿肷潆娮邮荒芡ㄟ^(guò)非導(dǎo)電樣品導(dǎo)走而產(chǎn)生的，因此樣品表面荷電會(huì)隨著入射電子束對(duì)樣品的掃描而不斷產(chǎn)生，同時(shí)入射電子束也會(huì)持續(xù)不斷電離空氣分子，從而產(chǎn)生正離子。當(dāng)二者數(shù)量達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，樣品表面荷電現(xiàn)象消失。

如圖2 所示，利用掃描電鏡無(wú)噴鍍直接觀察蛋殼膜，0.1Pa 真空度下荷電嚴(yán)重，60Pa真空度下荷電消失。

圖2 利用低真空原理消除蛋殼膜表面荷電