一、掃描電鏡和透射電鏡設(shè)備的不同點(diǎn)：

 

　　高分辨率臺(tái)式掃描電鏡使用—組特定的線圈以光柵樣式掃描樣品并收集散射的電子。

 

　　透射電鏡是使用透射電子，收集透過樣品的電子。因此，透射電鏡提供了樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，如晶體結(jié)構(gòu)，形態(tài)和應(yīng)力狀態(tài)信息，而掃描電鏡則提供了樣品表面及其組成的信息。

 

　　而且，這兩種設(shè)備的差別之一是它們可以達(dá)到的最佳空間分辨率;掃描電鏡的分辨率被限制在～0.5nm，而隨著最近在球差校正透射電鏡中的發(fā)展，已經(jīng)報(bào)道了其空間分辨率甚至小于50pm。

 

　　二、高分辨率臺(tái)式掃描電鏡和透射電鏡操作上的差異

 

　　這兩種電子顯微鏡系統(tǒng)在操作方式上也有所不同。掃描電鏡通常使用15kV以上的加速電壓，而透射電鏡可以將其設(shè)置在60-300kV的范圍內(nèi)。

 

　　與掃描電鏡相比，透射電鏡提供的放大倍數(shù)也相當(dāng)高:透射電鏡可以將樣品放大5000萬倍以上，而對(duì)于掃描電鏡來說，限制在1-2百萬倍之間。

 

　　然而，掃描電鏡可以實(shí)現(xiàn)的最大視場(chǎng)(FOV)遠(yuǎn)大于透射電鏡，用戶可以只對(duì)樣品的一小部分進(jìn)行成像。同樣，掃描電鏡系統(tǒng)的景深也遠(yuǎn)高于透射電鏡系統(tǒng)。

 

　　三、掃描電鏡和透射電鏡對(duì)樣品的要求

 

　　1、掃描電鏡

 

　　掃描電鏡制樣對(duì)樣品的厚度沒有特殊要求，可以采用切、磨、拋光或解理等方法將特定剖面呈現(xiàn)出來，從而轉(zhuǎn)化為可以觀察的表面。這樣的表面如果直接觀察，看到的只有表面加工損傷，一般要利用不同的化學(xué)溶液進(jìn)行擇優(yōu)腐蝕，才能產(chǎn)生有利于觀察的襯度。不過腐蝕會(huì)使樣品失去原結(jié)構(gòu)的部分真實(shí)情況，同時(shí)引入部分人為的干擾，對(duì)樣品中厚度極小的薄層來說，造成的誤差更大。

 

　　2、透射電鏡

 

　　由于透射電鏡得到的顯微圖像的質(zhì)量強(qiáng)烈依賴于樣品的厚度，因此樣品觀測(cè)部位要非常的薄，例如存儲(chǔ)器器件的透射電鏡樣品一般只能有10～100nm的厚度，這給透射電鏡制樣帶來很大的難度。初學(xué)者在制樣過程中用手工或者機(jī)械控制磨制的成品率不高，一旦過度削磨則使該樣品報(bào)廢。透射電鏡制樣的另一個(gè)問題是觀測(cè)點(diǎn)的定位，一般的制樣只能獲得10mm量級(jí)的薄的觀測(cè)范圍，這在需要精確定位分析的時(shí)候，目標(biāo)往往落在觀測(cè)范圍之外。目前比較理想的解決方法是通過聚焦離子束刻蝕(FIB)來進(jìn)行精細(xì)加工。