掃描式電子顯微鏡能夠在納米級(jí)別上對(duì)樣品進(jìn)行成像，清晰地觀察到樣品的微觀結(jié)構(gòu)和細(xì)節(jié)。目前，掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到亞納米級(jí)別；具有較大的景深，在成像過程中，即使樣品表面存在高低起伏，不同深度位置的信息都能清晰呈現(xiàn)，從而使SEM圖像具有特殊的三維立體感，有助于理解樣品的表面結(jié)構(gòu)。
只需將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理，就可直接放到掃描電鏡中進(jìn)行觀察，因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài)；可以通過安裝不同的探測(cè)器和附件，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的多種信號(hào)的檢測(cè)和分析，如二次電子、背散射電子、X射線等，從而獲取樣品的形貌、成分、結(jié)構(gòu)等多種信息。
掃描式電子顯微鏡的使用注意事項(xiàng)：
1.操作流程與安全：嚴(yán)格按照操控手冊(cè)要求進(jìn)行SEM的啟動(dòng)和關(guān)閉流程，切勿隨意操作以免損壞儀器。在使用SEM時(shí)務(wù)必佩戴安全眼鏡、防護(hù)手套等個(gè)人防護(hù)裝備避免因意外事故帶來的傷害。遵循儀器操作規(guī)程不得將檢視物體超出儀器最大承受范圍以防止鏡頭損壞或樣本受損。
2.樣本處理和準(zhǔn)備：樣本處理要確保無(wú)氧化物、塵埃等雜質(zhì)存在以免影響觀察效果。樣本尺寸大小要符合儀器規(guī)格注意避免樣本與儀器部件之間的接觸以免損壞或污染儀器。樣本應(yīng)均勻分布在樣品臺(tái)上避免出現(xiàn)濃度過高或不均勻的現(xiàn)象以確保觀察結(jié)果準(zhǔn)確性。
3.儀器維護(hù)與保養(yǎng)：定期檢查和維護(hù)掃描電子顯微鏡的各個(gè)部件包括電子槍、探測(cè)器、真空泵等確保其正常工作狀態(tài)。及時(shí)清理和更換耗材如鎢絲、光管等以保證儀器性能穩(wěn)定。避免在潮濕、高溫、強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣環(huán)境下使用儀器以免影響其使用壽命和性能。
