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      晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)

      更新時間:2025-06-03
      產品型號:FM-W-PDS
      所屬分類:可視化顆粒檢測
      描述:Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS),專為各行業產品表面顆粒污染物直接測量而設計,主要應用于半導體領域的晶圓、薄膜及光罩檢測,也可用于顯示市場等基板檢測。該系統配備 4-12 英寸視場(FOV)掃描區域,支持上下表面檢測。其光學設計使產品在計量過程中無需移動即可完成檢測。該系統可根據不同生產工藝需求進行定制,或直接集成至產線。
      詳情介紹

      Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)


      Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS),專為各行業產品表面顆粒污染物直接測量而設計,主要應用于半導體領域的晶圓、薄膜及光罩檢測,也可用于顯示市場等基板檢測。該系統配備 4-12 英寸視場(FOV)掃描區域,支持上下表面檢測。其光學設計使產品在計量過程中無需移動即可完成檢測。該系統可根據不同生產工藝需求進行定制,或直接集成至產線。


      生產過程中的一致性測量

      快速: 能在數秒內完成大面積成像

      定量: 適用于生產與研發環境的驗證與監測 

      操作簡便: 不受操作人員影響,自動化,潔凈抓取方式 

      精準: 高分辨率測量(數量、位置、尺寸) 

      一致性: 每次測量都保持客觀、穩定

      高通量: 能在工藝時間窗口內得出結果

      晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)

      FM-PDS: 直接檢測表面顆粒

      該系統可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導體以及優良封裝應 用,提供高通量的表面顆粒污染檢測服務。 

      該系統對粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高 效且提供服務的選擇。

      它能以手動或自動的操作方式,以及 較低的維護成本,取代傳統的顆粒檢測系統。 

      對于下一代半導體生產應用, PDS 系統具備的屬性:雙面同 時掃描(選配);

      靜態視場掃描(在圖像采集過程中無需移動產品)。

      多功能模塊化平臺

      系 統 可 定 制,以 適 應 每 個 生 產 認 證 流 程,或 融 入 生 產 線 。其 配 置 包括手動或自動晶圓抓取移動設備、用于檢測和清潔的封裝開啟 設備、填充設備、機械臂、檢測單元以及清潔設備。 

      該系統可根據需要客戶需求進行定制和擴展。測量模塊也可為系 統集成商和原始設備制造商(OEM)提供貼牌服務。



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